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氧化亚硅前驱体
块体
块体
粉体
P-SiO-1
具有纯度高(99.9%)、非晶态、沉积均匀、单炉产量高的特点,磁性物质含量可做到5ppm以下,金属元素杂质可做到1000ppm以下,稳定可靠的生产工艺可保证批量供货的批次稳定性,严格高效的过程管理可实现产品最优的性价比
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E-SiO-1
在保持纯氧化亚硅材料特性的同时,使用特有的原位掺杂方法,实现了多种元素的均匀掺杂,且掺入元素及掺入量支持定制,不同的掺入元素对氧化亚硅本体的性质影响较大,对应于低体积膨胀率、高首次库伦效率、高电子电导率等多种不同特性
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